扩散泵油的返油过程示意图

蒸汽流真空泵 鬼马 真空技术网整理

  扩散泵的油蒸汽并不完全是放射性地沿泵腔向下运动,由于随机的散射或带方向性的放射,从喷嘴喷出的蒸汽有部分分子也向真空泵泵口方向移动,这样就形成了返流;返流是扩散泵系统的主要污染!

扩散泵油的返油过程示意图

  因此,为了减少返流,在喷嘴和被抽系统之间通常加上合适的捕集装置;例如:加上水冷的捕集器,可以使返流降低50%,而同时泵的抽速也只是降低10%左右,不幸的是,捕集返流的效率越高,对泵抽速的影响就会越大;例如:一个用水或液氮冷却的几乎可以完全捕集返流的装置,可能会使抽速降低30% !