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    活塞式无油真空泵的外形呈扁方形,是由四个阶梯形活塞及四个阶梯形气缸组成。与电机直联的轴通过四根连杆带动四个活塞。活塞的背面空间由次级活塞抽气,以减少泄漏和降低极限压力。每个气缸都有进气阀与排气阀。

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    无油干式机械真空泵 ( 以下简称干式机械泵 ) 是指泵能从大气压力下开始抽气,又能将被抽气体直接排到大气中去,泵腔内无油或其他工作介质,而且泵的极限压力与油封式机械真空泵同等量级或者接近的机械真空泵。

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